[发明专利]一种聚酰亚胺薄膜位置测量方法及对位标记在审
| 申请号： | 201710742539.8 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107329295A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 陈君 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙)44238 | 代理人： | 潘中毅,熊贤卿 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种聚酰亚胺薄膜位置测量方法及对位标记，聚酰亚胺薄膜位置测量方法包括下述步骤提供一基板，在基板上印刷对位标记，对位标记为对称的规则图形，且对位标记的中心与基板的中心重合；以对位标记的中心为原点，在对位标记上按照预设间距标注刻度；在基板上印刷有对位标记的一面制备聚酰亚胺薄膜，根据对位标记测量聚酰亚胺薄膜的位置，判断制备的聚酰亚胺薄膜是否出现偏移。本发明提供的聚酰亚胺薄膜位置测量方法及对位标记，可以精确测量到基板上制备得到的聚酰亚胺薄膜的偏移量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚酰亚胺 薄膜 位置 测量方法 对位 标记 | ||
【主权项】：
一种聚酰亚胺薄膜位置测量方法，其特征在于，包括下述步骤：提供一基板，在所述基板上印刷对位标记，所述对位标记为对称的规则图形，且所述对位标记的中心与所述基板的中心重合；以所述对位标记的中心为原点，在所述对位标记上按照预设间距标注刻度；在所述基板上印刷有所述对位标记的一面制备聚酰亚胺薄膜，根据所述对位标记测量聚酰亚胺薄膜的位置，判断制备的聚酰亚胺薄膜是否出现偏移。
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