[发明专利]一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机有效

专利信息
申请号: 201710742885.6 申请日: 2017-08-25
公开(公告)号: CN107768480B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 刘品德;朱速锋 申请(专利权)人: 苏州南北深科智能科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 马明渡;吴雯珏
地址: 215200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机,包括烧结炉和抗光衰炉,烧结炉包括烘干段、烧结段以及冷却段,烘干段处设有一燃烧塔,燃烧塔包括一燃烧箱体,其内部空间由隔热墙依次分隔为第一燃烧区、过渡区、第二燃烧区以及冷却区。烧结段包括烧结炉腔,在该烧结炉腔的一端顶部设有第一排废口、另一端顶部设有第二排废口以及中部顶端设有第三排废口;针对第一排废口设有第一有机回收装置,针对第二排废口设有第二有机回收装置,针对第三排废口设有第三有机回收装置。抗光衰炉包括一光源箱箱体,光源箱箱体内设有光源,光源采用LED灯阵列布置,在光源箱箱体内设有冷却装置,冷却装置包括风冷冷却结构和水冷冷却结构。
搜索关键词: 一种 用于 加工 太阳能 硅片 烧结 抗光衰 一体机
【主权项】:
一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机,其特征在于:包括传输网链、烧结炉以及抗光衰炉,所述烧结炉和抗光衰炉由传输网链串联连接;所述烧结炉包括烘干段和烧结段;所述烘干段包括一烘干炉腔,该烘干炉腔为一隧道式炉腔;在该烘干炉腔的两端顶部分别开设有一废气排出口和一热风入口,在所述废气排出口的顶部设置一燃烧塔,在所述热风入口的顶部设置一辅助加热装置;所述燃烧塔包括一燃烧箱体,所述燃烧箱体上具有一进风口和一出风口,所述燃烧箱体的进风口与所述废气排出口对接;所述燃烧箱体的内部空间由隔热墙分隔为第一燃烧区、过渡区、第二燃烧区以及冷却区,所述第一燃烧区、过渡区以及第二燃烧区均为一沿竖直方向布置的空间,该三个沿竖直方向布置的空间在水平方向上并列排布,且过渡区位于第一燃烧区和第二燃烧区之间;所述进风口位于第一燃烧区的底部,所述第一燃烧区上部区域与过渡区的上部区域连通,所述过渡区的下部区域与第二燃烧区的下部区域连通,所述第二燃烧区的上部区域与冷却区的一端区域连通,所述冷却区的另一端区域与所述出风口连通,以此形成一弯曲绕行的通道;所述第一燃烧区内设有第一加热模组,该第一加热模组包括若干沿竖直方向依次间隔布置的第一加热元件以及若干穿插于相邻两第一加热元件之间的第一隔板,每个第一隔板上均开设有第一通孔,每相邻两第一隔板上的第一通孔错位布置,迫使进入第一燃烧区内的空气由下至上沿“之”字形路径流经;所述第二燃烧区内设有第二加热模组,所述第二加热模组包括若干沿竖直方向依次间隔布置的第二加热元件以及若干穿插于相邻两加热元件之间的第二隔板,每个第二隔板上均开设有第二通孔,每相邻两个第一隔板上的第二通孔错位布置,迫使流入第二燃烧区内的空气由下至上沿“之”字形路径流经;所述第二燃烧区的底部还设有一高温风机,该高温风机的风机入口对着所述过渡区,所述高温风机的风机出口对着所述第二加热模组,用于将从第一燃烧区燃烧过的气体吹向第二加热模组;所述冷却区为一沿水平方向布置的空间,冷却区设置在第一燃烧区、过渡区以及第二燃烧区的上方,且冷却区内部设有换热器;所述辅助加热装置上设有一供外界空气进入辅助加热装置内部的进气口和一供加热后的气体排出的出气口,所述辅助加热装置上的出气口与所述烘干炉腔上的热风入口连通;所述烧结段包括一烧结炉腔,在该烧结炉腔的两端及中部顶端分别设有第一排废口、第二排废口以及第三排废口;针对第一排废口设有第一有机回收装置,针对所述第二排废口设有第二有机回收装置,针对所述第三排废口设有第三有机回收装置;所述第一有机回收装置包括第一箱体结构,该第一箱体结构罩合在所述第一排废口上,在第一箱体结构的顶部连通有第一排废管;所述第二有机回收装置包括第二箱体结构,该第二箱体结构罩合在所述第二排废口上,在第二箱体结构的顶部连通有第二排废管;所述第三有机回收装置包括第三箱体结构,该第三箱体结构罩合在所述第三排废口上,在第三箱体结构的顶部连通有第三排废管;所述抗光衰炉包括一光源箱箱体,光源箱箱体内设有光源,所述光源采用LED灯阵列布置,在所述光源箱箱体内设有冷却装置,该冷却装置包括风冷冷却结构和水冷冷却结构;所述风冷冷却结构包括一进风接头、一进风管、一风刀结构、一冷却风道以及一出风通道;所述进风接头设在光源箱箱体上,所述进风管、风刀结构、冷却风道以及出风通道均位于光源箱箱体内;所述进风接头一端位于光源箱箱体外与空压机的输出口连接,另一端位于光源箱箱体内与进风管的进风端连接;所述风刀结构包括一风腔、一进风口以及一狭长状的风刀出风口,所述进风管的出风端与风刀结构的进风口密封连接,所述风刀结构的风刀出风口与出风通道的进风端相对间隔布置,所述冷却风道位于风刀结构和出风通道之间,且一端与风刀出风口连通,另一端与出风通道的进风端连通,所述出风通道的出风端与外界连通;所述水冷冷却结构包括散热铝块本体、前端盖板以及后端盖板;所述散热铝块本体的两端开口,且散热铝块本体内部设有冷水通道,该冷水通道内部设有散热片;所述前端盖板与散热铝块本体前端开口密封连接,所述后端盖板与散热铝块本体后端开口密封连接,所述前端盖板上开设有前端盖通孔,前端盖通孔中密封连接有进水接头,所述后端盖板上开设有后端盖通孔,后端盖通孔中密封连接有出水接头。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州南北深科智能科技有限公司,未经苏州南北深科智能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710742885.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top