[发明专利]一种真空设备的管道结构有效
| 申请号： | 201710744897.2 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN107489630B | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 古启明 | 申请（专利权）人： | 宏基领先科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/52;F04D29/64 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 肖平安 |
| 地址： | 中国香港沙田科学园科*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明为一种真空设备的管道结构，使用此技术方案有如下进步之处：涡轮分子泵直接装设于真空室的活动顶盖上，避免了涡轮分子泵和活动顶盖之间装设连接管道的问题，提高了抽真空效率，直接抽真空能够提高整体真空设备的可靠性；涡轮分子泵和前级真空设备连接的管道分为前置管道和后置管道，通过法兰上的凸沿相互连通，法兰成对使用，当真空室放气破真空时，前置管道和后置管道随着法兰分开，这样前置管道和后置管道在使用过程中均不会受到任何方向的拉力，因此前置管道和后置管道的使用寿命延长，而且前置管道和后置管道均与法兰一体连接，更增加了前置管道和后置管道间的抽真空状态的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 后置 前置 法兰 涡轮分子泵 真空设备 管道结构 活动顶盖 真空室 装设 使用寿命延长 抽真空效率 抽真空状态 成对使用 连接管道 一体连接 整体真空 抽真空 破真空 放气 前级 凸沿 连通 | ||
【主权项】：
1.一种真空设备的管道结构，包括真空室，所述真空室底部连接转台转轴和电机减速箱，其特征在于：所述真空室顶部装设有活动顶盖，所述活动顶盖上固定设有涡轮分子泵，所述真空室和所述活动顶盖法兰连接，所述法兰一侧向外延伸形成凸沿，所述凸沿下表面一体成型有前置管道的首端，所述凸沿上表面一体成型有后置管道的末端，所述凸沿中空，所述前置管道的首端和所述后置管道的末端相通，所述前置管道的末端连接前级真空设备，所述后置管道的首端连接所述涡轮分子泵。
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