[发明专利]微纳光检测装置及光检测系统

摘要

本发明提供了一种微纳光检测装置及光检测系统，涉及光学检测技术领域。微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，传导组件设置于第一盖板和第二盖板之间，第一盖板及第二盖板用于防止通过传导组件传导的电磁波发生泄露，传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，第一波导和第二波导设置于共振腔相对的两侧，第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光，本实施例提供的微纳光检测装置，通过将光耦合到共振腔中产生法诺共振或洛伦兹共振，在特定波段的待检测光在第一波导一端通过共振腔耦合至第二波导的一端进行传播，可以用来检测是否有特定波长的光通过所述微纳光检测装置，以检测特定波长的透射情况。

主权项

一种微纳光检测装置，其特征在于，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光。