[发明专利]一种直排推进式高效硅片切割装置

摘要

本发明涉及一种直排推进式高效硅片切割装置，属于硅片切割加工领域，包括导轮，所述导轮上缠有金刚线，所述金刚线上硅碇直排方式排布，所述硅碇后设有推进杆，所述推进杆连有电动机，所述推进杆中间设有红外感应器，所述导轮上方两端设有冷却液喷嘴。本发明结构设计简单，方便、实用的而且可以防止硅片在切割过程中变形，有效的提高了切割速率和效率，减少了硅片切割时间。

主权项

一种直排推进式高效硅片切割装置，其特征在于，包括导轮(1)，所述导轮(1)上缠有金刚线(2)，所述金刚线(2)上放有硅碇(3)，所述硅碇(3)后设有推进杆(6)，所述推进杆(6)连有电动机(7)，所述推进杆(6)中间设有红外感应器(5)，所述导轮(1)上方两端设有冷却液喷嘴(4)。