[发明专利]磁轴承控制装置及真空泵有效
申请号: | 201710756833.4 | 申请日: | 2017-08-29 |
公开(公告)号: | CN108374800B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 小崎纯一郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | F04D29/058 | 分类号: | F04D29/058;F04D19/04;F16C32/04 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种磁轴承控制装置及真空泵,能够使干扰对应性能与噪声影响的减低并存。磁轴承控制装置通过电流传感器而检测由激磁放大器(43p、43m)向使转子磁悬浮的磁轴承供给的激磁电流,并根据基于转子悬浮位置相对于悬浮目标位置的偏差的电流设定信号(iset)与电流传感器的电流检测信号(Ip、Im),而生成用以对激磁放大器(43p、43m)进行脉宽调制(PWM)控制的电压相当信号。而且,电压相当信号是基于作为电流设定信号(iset)与电流检测信号(Ip、Im)的差的电流偏差信号及电流设定信号(iset)而生成。 | ||
搜索关键词: | 磁轴 控制 装置 真空泵 | ||
【主权项】:
1.一种磁轴承控制装置,通过传感器而检测由激磁放大器向使转子磁悬浮的磁轴承供给的激磁电流,并根据基于转子悬浮位置相对于悬浮目标位置的偏差的电流设定信号与所述传感器的激磁电流检测信号,而生成用以对所述激磁放大器进行脉宽调制控制的电压相当信号,所述磁轴承控制装置的特征在于:基于作为所述电流设定信号与激磁电流检测信号的差的电流偏差信号及所述电流设定信号而生成所述电压相当信号。
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