[发明专利]一种基板承载装置及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201710757002.9 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107475680B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 邹清华;段廷原;姚固;朱儒晖 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板承载装置及蒸镀设备，涉及显示装置制造技术领域，为解决现有的基板承载装置更换粘性件用时较长的问题而发明。该基板承载装置，包括基底和承载条，所述承载条与所述基底可拆卸连接，所述承载条的承载面上设有粘性件，在所述承载条与所述基底处于连接状态下，与所述基底连接的所有所述承载条的承载面形成平坦表面。本发明可用于OLED等基板的承载和传送。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 装置 设备 | ||
【主权项】：
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