[发明专利]彩膜基板瑕疵修复装置及修复方法在审
| 申请号： | 201710761383.8 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107390400A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 罗俊 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰,顾楠楠 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种彩膜基板瑕疵修复装置，包括承载平台、设于承载平台上方的至少一组行走装置、设于行走装置上的激光源、墨水喷嘴以及紫外光源，所述激光源、墨水喷嘴以及紫外光源与承载平台相对。本发明还提供了一种修复方法，包括对瑕疵部位通过激光进行刻蚀，形成裸露部；对裸露部填充光阻材料；通过紫外光源进行固化形成填充体。与现有技术相比，通过激光源、墨水喷嘴以及紫外光源对瑕疵处依次进行激光刻蚀、注入光阻材料、固化从而完成对瑕疵部位进行修复，不仅操作简单，而且修复效果好，在提高了修复的成功率同时改善面板修复后检测的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 彩膜基板 瑕疵 修复 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种彩膜基板瑕疵修复装置，其特征在于：包括承载平台(1)、设于承载平台(1)上方的至少一组行走装置(2)、设于行走装置(2)上的激光源(3)、墨水喷嘴(4)以及紫外光源(5)，所述激光源(3)、墨水喷嘴(4)以及紫外光源(5)与承载平台(1)相对，所述行走装置(2)可在承载平台(1)表面上方行走；所述激光源(3)用于将彩膜基板表面的瑕疵进行刻蚀；所述墨水喷嘴(4)用于对刻蚀处填充光阻材料；紫外光源(5)用于将光阻材料进行固化。
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