[发明专利]监测晶圆与吸盘相对关系的装置与方法

摘要

用来监测晶圆与吸盘相对关系的装置与方法，特别是用来在晶圆未被固持时监测晶圆是否黏附在吸盘的装置与方法。当晶圆未被固持时，顶针可以延伸到吸盘外部而分离晶圆与吸盘。藉由侦测未被固持的晶圆与吸盘中间的电容，特别是藉由比较侦测到电容与晶圆被吸盘固持时二者间的电容，可以侦测到晶圆是否黏附在吸盘上，甚至可以侦测到晶圆是否适当地被顶针所支撑。藉此，可以在晶圆黏附发生时或是晶圆未被适当地移除时发出早期警报。此外，藉由控制电性连接到可以接触到晶圆的顶针的开关的导通或断路，可以消除出现在晶圆上的电荷。

主权项

1.一种监测晶圆与吸盘相对关系的装置，包含:顶针总成，可以延伸到用以固持晶圆的吸盘的外部；交流信号产生器，用以输出起始交流信号；以及比较电路，用以比较起始交流信号与自吸盘输出的相应交流信号；在此，交流信号产生器分别地电性耦合至吸盘与比较电路；在此，比较电路分别地电性耦合至交流信号产生器与吸盘；在此，顶针总成包含可以延伸出吸盘的一或多个顶针以及分别支撑与移动不同顶针的一或多个支撑单元；在此，顶针总成可分离晶圆与吸盘以形成一距离，并且，相应交流信号随该距离变动而改变。