[发明专利]镀覆装置有效
| 申请号： | 201710763259.5 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107868975B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 谷泽昭寻;小林贤一;宫泽康之;相马刚 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/06;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种镀覆装置，能够一边继续运转，一边进行基板保持架的维护。镀覆装置包括：处理部(170C)，对基板W进行镀覆；保管容器(20)，对用于保持基板W的基板保持架(11)进行保管；搬运机(140)，在处理部(170C)与保管容器(20)之间搬运基板保持架(11)；维护区域(21)，与保管容器(20)邻接；以及基板保持架载体(25)，支承于保管容器(20)。基板保持架载体(25)构成为：能够以支承有基板保持架(11)的状态而在保管容器(20)与维护区域(21)之间移动。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
一种镀覆装置，其特征在于，包括：处理部，对基板进行镀覆；保管容器，对用于保持所述基板的基板保持架进行保管；搬运机，在所述处理部与所述保管容器之间搬运所述基板保持架；维护区域，与所述保管容器邻接；以及基板保持架载体，支承于所述保管容器；所述基板保持架载体构成为：能够以支承有所述基板保持架的状态而在所述保管容器与维护区域之间移动。
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