[发明专利]一体式高速超精密定位二维平台

摘要

本发明属于机加工辅助设备技术领域，具体涉及一种一体式高速超精密定位二维平台，包括底座，所述的底座上设置有浮动平台和平台支持底座，平台支持底座上设置有X轴宏动平台，X轴宏动平台上设置有Y轴宏动平台，Y轴宏动平台上设置有XY微动平台，浮动平台上设置有复合音圈电机，复合音圈电机内设置有复合旋转电机，复合旋转电机转子的前端设置有转子齿轮，Y轴宏动平台上设置有连接平台，连接平台的下部设置有齿条，齿条与转子齿轮啮合连接，X轴宏动平台的一侧面设置有导轨，导轨上设置有滑块，滑块与复合旋转电机定子固定连接，该装置解决了并联驱动电机占用大量空间而无法节省整机空间的问题，同时定位精度高，使用方便。

主权项

一体式高速超精密定位平台，包括底座，其特征在于：所述的底座上设置有浮动平台和平台支持底座，平台支持底座上设置有X轴宏动平台，平台支持底座与X轴宏动平台之间设置有X轴平台前导轨副和X轴平台后导轨副，X轴宏动平台上设置有Y轴宏动平台，X轴宏动平台与Y轴宏动平台之间设置有Y轴平台右导轨副和Y轴平台左导轨副，Y轴宏动平台上设置有XY微动平台，浮动平台上设置有复合音圈电机定子，复合音圈电机定子内设置有复合音圈电机转子，复合音圈电机转子内设置有复合旋转电机转子，复合旋转电机转子内设置有复合旋转电机定子，复合旋转电机转子的前端设置有转子齿轮，Y轴宏动平台上设置有连接平台，连接平台的下部设置有齿条，齿条与转子齿轮啮合连接，X轴宏动平台的一侧面设置有导轨，导轨上设置有滑块，滑块与复合旋转电机定子固定连接。