[发明专利]一种沟道槽翘曲度测量方法及装置有效
| 申请号： | 201710773970.9 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107560561B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 芈健;陈子琪;乐陶然;刘欢;郭玉芳 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王玲;王宝筠 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种半导体存储器制造工艺过程中沟道槽翘曲度测量方法和装置，所述方法包括：获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。本申请实施例可以有效提高沟道槽翘曲度测量的准确性和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 沟道槽 翘曲度 法线 中心点坐标 基准中心 壁面 测量方法及装置 测量 半导体存储器 方法和装置 图像 顶部中心 制造工艺 坐标计算 申请 偏离 | ||
【主权项】：
1.一种沟道槽翘曲度测量方法，其特征在于，包括：获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。
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