[发明专利]气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉

摘要

本发明揭示了气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉，包括至少两个间隙设置的加热板，所述加热板在与它们平行的同一投影面上的投影重合，且相邻加热板之间的间隙形成用于放置工件的加热空间，每个所述加热板的两端分别连接一石墨电极，每个所述石墨电极连接用于连接电源的铜电极。本发明设计精巧，通过在两个加热板的间隙之间形成用于放置工件的加热空间，两个加热板同时从两个相反方向直接对工件进行加热，一来具有更高的加热效率，减少热传递过程的热损耗，有利于降低能耗；同时，两面同时加热，有利于保证加热的均匀性，避免工件受热不均。

主权项

1.气相沉积均匀加热装置，其特征在于：包括至少两个间隙设置的加热板（30），所述加热板（30）在与它们平行的同一投影面上的投影重合，且相邻加热板（30）之间的间隙形成用于放置工件的加热空间（140），每个所述加热板（30）的两端分别连接一石墨电极（40），每个所述石墨电极（40）连接用于连接电源的铜电极（50）。