[发明专利]圆度测量装置有效
申请号: | 201710775342.4 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN107796352B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 中山树;石桥一成 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种圆度测量装置,包括:角度检测器,用于检测载物台相对于X轴方向的当前转动角度;操纵杆(外部操作器),用于指示载物台的转动轴线的操作量;定心控制器,用于根据操作量和转动角度来计算CX轴移动量和CY轴移动量,并且基于所计算出的CX轴移动量和CY轴移动量来移动CX轴移动机构和CY轴移动机构;以及水平调整控制器,用于根据操作量和转动角度来计算LX轴倾斜量和LY轴倾斜量,并且基于所计算出的LX轴倾斜量和LY轴倾斜量来移动LX轴移动机构和LY轴移动机构。 | ||
搜索关键词: | 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种圆度测量装置,包括:载物台,其设置有要放置工件的载置板,其中所述载物台被配置为能够绕转动轴线转动并使放置在所述载置板上的工件转动;检测器,其设置有能够与放置在所述载置板上的工件接触的触针,其中所述检测器被配置为检测所述触针的位置变化,其中:在所述载物台转动时,使所述触针与所述工件的周面接触,以及根据所述检测器所检测到的所述触针的位置变化来进行所述工件的圆形形状的测量;第一移动器和第二移动器,其安装在所述载物台上,其中所述第一移动器和所述第二移动器被配置为使所述载置板分别沿与所述转动轴线垂直的第一移动轴方向和第二移动轴方向移动;角度检测器,其被配置为检测所述载物台的当前的转动角度;外部操作器,其被配置为指示放置在所述载置板上的工件的操作量,其中所述操作量是沿与所述转动轴线垂直的操作方向的操作量;以及定心控制器,其被配置为根据所述操作量和所述转动角度来计算沿所述第一移动轴方向的第一移动量和沿所述第二移动轴方向的第二移动量,其中所述定心控制器进一步被配置为基于所计算出的所述第一移动量和所述第二移动量来分别驱动所述第一移动器和所述第二移动器。
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