[发明专利]一种光敏胶微凝装置及方法有效
| 申请号： | 201710776022.0 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN109420593B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 晏学飞;赵俊;韩传友;张金贵 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光敏胶微凝装置及方法，包括光敏胶容器、控制模块、设于所述光敏胶容器上且与所述控制模块连接的监测模块、抽排模块和加压模块。通过控制模块控制监测模块中的加热模块和抽排模块进行加热和抽排，使光敏胶中的溶剂挥发和排出，并通过监测模块中的粘度监测模块进行实时监测以达到指定粘度，实现了利用特定初始粘度的光敏胶获得相对较大的厚度范围，通过本装置处理后的光敏胶只需要进行一次旋涂，使用少量的光敏胶即可实现目标膜厚，提高了旋涂的产率，减少了光敏胶的用量；同时，有效防止多次旋涂的某一层旋涂异常导致的失效，避免了多次旋涂之间点胶时产生气泡，提高了点胶的成型效率和质量，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光敏 胶微凝 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光敏胶微凝装置，其特征在于，包括光敏胶容器、控制模块、设于所述光敏胶容器上且与所述控制模块连接的监测模块、抽排模块和加压模块。
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