[发明专利]一种太阳能电池片钝化用Al2O3镀膜系统和方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片钝化用Al2O3镀膜系统，包括依次连接的上料台、红外加热腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二、卸载腔、缓存台及自动上下料装置，通过底部设置的下传输装置将装载有待镀膜硅片的载板从自动上下料装置传输至上料台。镀膜时，三甲基铝通过N2或Ar携带并从分气块进入工艺腔的腔体，O2或N2O从离子源进入腔体，三甲基铝和O2或N2O经过射频电离后在硅片表面产生沉积而完成Al2O3镀膜；陶瓷板用于隔离三甲基铝与O2或N2O并起绝缘作用。该发明实现了太阳能电池片的高效Al2O3镀膜钝化，具有系统自动化程度高、镀膜速度快、成本低、镀膜质量高并适于工业化量产的优点。

主权项

一种太阳能电池片钝化用Al2O3镀膜系统，其特征在于，包括依次连接的上料台、红外加热腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二、卸载腔、缓存台及自动上下料装置，两端的所述上料台及自动上下料装置通过系统底部设置的下传输装置连通以用于将装载有待镀膜硅片的载板从所述自动上下料装置传输至所述上料台；所述工艺腔包括：设置在所述工艺腔底部的底部加热器，设置在所述底部加热器上方的至少一个离子源，对应设置在所述离子源侧部的侧部加热器，及设置于所述离子源两侧的分气块；所述离子源的下方两侧还设置有陶瓷板。