[发明专利]一种紫外探测器及其制作方法有效
| 申请号： | 201710779849.7 | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN107579127B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 陈星;刘可为;李炳辉;张振中;申德振 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01L31/0296 | 分类号： | H01L31/0296;H01L31/101;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紫外探测器及其制作方法，该制作方法包括：提供一衬底；在所述衬底表面形成ZnMgO层；所述ZnMgO层的表面包括电极区域以及非电极区域；在所述电极区域形成电极，所述电极表面具有In粒；对所述非电极区域进行氟修饰处理，使得所述非电极区域具有含氟的官能团；其中，所述官能团用于增加对氧气的吸附量以及吸附速率。本发明技术方案可以同时优化紫外探测器的响应度、暗电流以及响应时间这三个特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种紫外探测器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：提供一衬底；在所述衬底表面形成ZnMgO层；所述ZnMgO层的表面包括电极区域以及非电极区域；在所述电极区域形成电极，所述电极表面具有In粒；对所述非电极区域进行氟修饰处理，使得所述非电极区域具有含氟的官能团；进行氟修饰处理包括：将所述ZnMgO层浸没在含氟的溶液中预设时间，以形成所述官能团；通过去离子水清洗后，进行干燥处理；其中，所述官能团用于增加对氧气的吸附量以及吸附速率。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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