[发明专利]集成电路芯片中的系统缺陷的故障标识数据库的早期开发有效
| 申请号： | 201710780283.X | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN108073674B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | R·德西内尼;A·奇特图拉;Y·潘;S·费尔南德斯;T·赫尔曼 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/20 | 分类号： | G06F16/20;G06F30/39 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种集成电路芯片中的系统缺陷的故障标识数据库的早期开发，其方法提供故障标识数据库的生产前运行开发，该数据库储存针对系统缺陷的故障标识及相应根本原因。随后可获取该数据库中的该故障标识并将其用于各种目的。可评估该些故障标识并基于该评估的结果，可采取措施以防止在生产运行期间发生特定的系统缺陷以及/或者允许在生产运行期间早期检测特定的系统缺陷。而且，在生产运行之后，接着可开发源于不合格生产芯片的新的故障标识并将其与该故障标识数据库中的该故障标识比较。标识匹配可表示特定的生产芯片与特定的原型芯片具有由相同的根本原因引起的相同的系统缺陷，且基于这样的标识匹配，可执行在线先进制程控制(APC)。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 芯片 中的 系统 缺陷 故障 标识 数据库 早期 开发 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：开发故障标识数据库，该故障标识数据库储存与系统缺陷关联的故障标识及相应根本原因，该系统缺陷被先前识别于依据特定设计制造的不合格原型芯片上且该相应根本原因在考虑用以形成至少一些的原型芯片的不同制程规格的情况下确定；以及使用该故障标识数据库以任何预防及检测后续依据该特定设计并使用特定制程规格组制造的生产芯片中的特定系统缺陷。
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