[发明专利]氮化铝陶瓷板金属化的方法有效

专利信息
申请号: 201710784345.4 申请日: 2017-09-04
公开(公告)号: CN107556060B 公开(公告)日: 2021-01-01
发明(设计)人: 杨大胜;施纯锡 申请(专利权)人: 福建华清电子材料科技有限公司
主分类号: C04B41/90 分类号: C04B41/90;C23C28/02;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58;C25D3/38;C25D5/50
代理公司: 泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209 代理人: 赖开慧
地址: 362200 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及氮化铝陶瓷板金属化的方法,包括以下步骤:对氮化铝陶瓷板表面进行清洗,在氮化铝陶瓷板表面形成设定厚度的钛导电层;将表面镀钛的氮化铝陶瓷板作为阴极,并置于电解槽中,精铜为阳极;将氮化铝陶瓷板置于热处理炉中,然后加热升温,钛导电层向氮化铝渗透形成TiN冶金过渡层和单质铝;继续加热升温,通过超声波发生装置向氮化铝陶瓷板发出超声波,使液态的单质铝振动流出,稳固TiN冶金过渡层;进一步加热升温,钛导电层向铜镀层渗透形成TiCu冶金过渡层。相对现有技术,本发明能使TiN冶金过渡层中的液态单质铝振动,使得液态单质铝熔合并排出至氮化铝陶瓷板外,提升铜镀层和钛导电层的连接强度,提升产品质量和成品率。
搜索关键词: 氮化 陶瓷 金属化 方法
【主权项】:
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