[发明专利]氮化铝陶瓷板金属化的方法有效
申请号: | 201710784345.4 | 申请日: | 2017-09-04 |
公开(公告)号: | CN107556060B | 公开(公告)日: | 2021-01-01 |
发明(设计)人: | 杨大胜;施纯锡 | 申请(专利权)人: | 福建华清电子材料科技有限公司 |
主分类号: | C04B41/90 | 分类号: | C04B41/90;C23C28/02;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58;C25D3/38;C25D5/50 |
代理公司: | 泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209 | 代理人: | 赖开慧 |
地址: | 362200 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及氮化铝陶瓷板金属化的方法,包括以下步骤:对氮化铝陶瓷板表面进行清洗,在氮化铝陶瓷板表面形成设定厚度的钛导电层;将表面镀钛的氮化铝陶瓷板作为阴极,并置于电解槽中,精铜为阳极;将氮化铝陶瓷板置于热处理炉中,然后加热升温,钛导电层向氮化铝渗透形成TiN冶金过渡层和单质铝;继续加热升温,通过超声波发生装置向氮化铝陶瓷板发出超声波,使液态的单质铝振动流出,稳固TiN冶金过渡层;进一步加热升温,钛导电层向铜镀层渗透形成TiCu冶金过渡层。相对现有技术,本发明能使TiN冶金过渡层中的液态单质铝振动,使得液态单质铝熔合并排出至氮化铝陶瓷板外,提升铜镀层和钛导电层的连接强度,提升产品质量和成品率。 | ||
搜索关键词: | 氮化 陶瓷 金属化 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建华清电子材料科技有限公司,未经福建华清电子材料科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710784345.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。