[发明专利]一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201710785979.1 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109427528B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘季霖;王凯麟;吴狄;左涛涛 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B32B15/20;B32B15/01;B32B7/10 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 周乃鑫 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝坡莫合金夹心板及应用其制备的等离子体处理装置，该夹心板包含：高导磁层，包覆在高导磁层上的高导电层，设置在高导磁层和高导电层之间的高强度耐高温胶层。其中，高导磁层包含：坡莫合金；高导电层包含：铝或铝合金。本发明的夹心板采用压敏胶粘合，降低了高导电导磁复合材料的成本，得到的铝坡莫合金夹心板具有较好的磁导率和导电率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝坡莫 合金 夹心板 应用 制备 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种铝坡莫合金夹心板，其特征在于，该夹心板包含：高导磁层（10），包覆在高导磁层（10）上的高导电层（20），设置在高导磁层（10）和高导电层（20）之间的高强度耐高温胶层（30）；所述的高导磁层（10）包含：坡莫合金；所述的高导电层（20）包含：铝或铝合金。
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