[发明专利]一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法及系统在审
| 申请号： | 201710790075.8 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN107703332A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 吴浚瀚 | 申请（专利权）人： | 广州市本原纳米仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q40/02 | 分类号： | G01Q40/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510070 广东省广州市越秀区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法及系统，方法包括控制压电扫描器以一系列不同的给定扫描速度对标准样品进行实际的扫描成像，并根据实际的扫描成像结果拟合出压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系；获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正。系统包括实际扫描成像与拟合模块以及实际扫描范围校正模块。本发明通过压电扫描器的实际扫描成像结果对扫描速度与扫描范围的关系进行拟合，进而根据拟合的结果进行实际扫描范围校正，有效消除了扫描速度变化对压电扫描器扫描范围的影响，能得到更准确的检测结果。本发明可广泛应用于显微镜领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 速度 压电 扫描器 范围 校正 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种基于扫描速度的压电扫描器扫描范围校正方法，其特征在于：包括以下步骤：控制压电扫描器以一系列不同的给定扫描速度对标准样品进行实际的扫描成像，并根据实际的扫描成像结果拟合出压电扫描器实际的扫描范围与扫描速度的关系；获取压电扫描器在对被测样品进行检测时的实际扫描速度，并结合拟合出的关系对压电扫描器的实际扫描范围进行校正。
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