[发明专利]一种铝碳化硅材质反射镜制备方法在审
| 申请号： | 201710792614.1 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN107500774A | 公开（公告）日： | 2017-12-22 |
| 发明（设计）人： | 刘波波;王号旗;刘艳芬 | 申请（专利权）人： | 西安明科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/622;G02B5/08 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710100 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝碳化硅材质的反射镜的制备方法，该方法先制备铝碳化硅反射镜胚体，再进行粗抛光、热处理和精磨加工，再经过化学镀得到铝碳化硅反射镜，所述铝碳化硅反射镜上镀铜层厚2～10μm，所述铜层上镀镍50～150μm，表面粗糙度为Ra0.012μm，反射率为90％，碳化硅占所述铝碳化硅反射镜体积百分比为70％，所述铝碳化硅反射镜的密度＞2.9g/cm3，热导率＞210W/(m·K)，抗弯强度＞300MPa，热膨胀系数5.5×10‑6/k～9.5×10‑6/k。这种铝碳化硅材质的反射镜的面形变形极小，能适用于空间技术用反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 材质 反射 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铝碳化硅材质反射镜制备方法，其特征在于，先制备铝碳化硅反射镜胚体，再进行粗抛光、热处理和精磨加工，依次镀铜和镀镍后经过表面处理得到表面粗糙度为Ra0.012μm，反射率为90％的铝碳化硅反射镜，所述铝碳化硅反射镜中碳化硅占铝碳化硅反射镜体积百分比的70％，所述铝碳化硅反射镜的密度＞2.9g/cm3，热导率＞210W/(m·K)，抗弯强度＞300MPa，热膨胀系数5.5×10‑6/k～9.5×10‑6/k。
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