[发明专利]一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构有效
| 申请号： | 201710793854.3 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107338413B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 杨元才;朱振东;熊凯;钱鹏亮;褚景豫 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 31384 | 代理人： | 黄裕 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置圆靶转向夹持机构；圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；焊接波纹管组件的下端连接支撑管；支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起角度和高度同步调节；实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节，进一步提升了圆靶镀膜的工艺连续性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 手动 同步 调节 高度 角度 挡板 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海福宜真空设备有限公司，未经上海福宜真空设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710793854.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
