[发明专利]交叉传样装置及具有该交叉传样装置的超高真空测量系统有效

专利信息
申请号: 201710794345.2 申请日: 2017-09-06
公开(公告)号: CN107490704B 公开(公告)日: 2019-06-18
发明(设计)人: 刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G01N35/10 分类号: G01N35/10
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 陈舒维;宋志强
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种交叉传样装置,该交叉传样装置设置交叉连通的真空管道,合理布置占用的空间位置;传样车在各个管道中直线运送,结合转运部将放置在传样车上的样品在各个管道之间进行转运传递。如此,该交叉传样装置结构布局紧凑,节省空间,并且,还确保样品在交叉管道之间的顺利传递。
搜索关键词: 传样装置 转运 测量系统 超高真空 交叉连通 节省空间 结构布局 空间位置 真空管道 传递 样车 紧凑 运送 占用
【主权项】:
1.一种交叉传样装置,其特征在于,所述交叉传样装置设置在超高真空测量系统中,用于传递待测的样品,所述交叉传样装置包括至少一组交叉传样组,每组所述交叉传样组包括:第一真空管道(10);第二真空管道(20),所述第二真空管道(20)平行于所述第一真空管道(10);第三真空管道(30),所述第三真空管道(30)连接在所述第一真空管道(10)和所述第二真空管道(20)的管道中段之间,形成交叉连通的传样通道;第一转运部(11),所述第一转运部(11)设置在所述第一真空管道(10)内的上方,并位于所述第一真空管道(10)与所述第三真空管道(30)交界处;第二转运部(21),所述第二转运部(21)设置在所述第二真空管道(20)内的上方;第三转运部(31),所述第三转运部(31)设置在所述第三真空管道(30)内的上方,并位于所述第二真空管道(20)与所述第三真空管道(30)交界处;第一传样车(12),所述第一传样车(12)承载所述样品在所述第一真空管道(10)内行驶,并将所述待测样品运送至所述第一转运部(11)的下方;第二传样车(22),所述第二传样车(22)在所述第二真空管道(20)内行驶;第三传样车(32),所述第三传样车(32)在所述第三真空管道(30)内行驶,所述第一转运部(11)将所述样品转运由所述第一传样车(12)转运至所述第三传样车(32)的靠近所述第一真空管道(10)侧的第一端(321),并由所述第三传样车(32)将样品运送至所述第三转运部(31)的下方,所述第三转运部(31)将所述样品由所述第三传样车(32)的第一端(321)转运至所述第三传样车(32)靠近所述第二真空管道(20)侧的第二端(322),所述第二转运部(21)将所述样品由所述第三传样车(32)转运至所述第二传样车(22)。
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