[发明专利]一种传样装置和超高真空测量系统有效
| 申请号： | 201710794397.X | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107677844B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 刘大猛;张晨辉;王婷;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N35/10 | 分类号： | G01N35/10 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 李璇;王一斌 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传样装置和超高真空测量系统，该传样装置包括：一个中转腔，所述中转腔内具有第一抓取装置；多个直线腔，每个直线腔的第一端与所述中转腔连通，第二端与一个检测设备连通，每个直线腔内具有一个沿着直线腔往复移动的样品小车，以在所述检测设备与直线腔的第一端之间传送样品；所述第一抓取装置具有在所述中转腔与任一直线腔之间伸缩的水平自由度，和在所述直线腔所在的平面内以所述中转腔的中心为轴旋转、以对准任一直线腔的旋转自由度，以将一个直线腔内的样品传送至另一个直线腔中。 | ||
| 搜索关键词： | 直线腔 中转腔 传样装置 测量系统 超高真空 检测设备 抓取装置 第一端 线腔 连通 水平自由度 旋转自由度 样品传送 样品小车 轴旋转 伸缩 对准 传送 | ||
【主权项】：
1.一种传样装置(100)，其特征在于，包括：一个中转腔(10)，所述中转腔(10)内具有第一抓取装置(11)；多个直线腔(20)，多个直线腔(20)放射式地分布在所述中转腔(10)周围，每个直线腔(20)的第一端(20a)与所述中转腔(10)连通，第二端(20b)与一个检测设备(30)连通，每个直线腔(20)内具有一个沿着直线腔(20)往复移动的样品小车(40)，以在所述检测设备(30)与直线腔(20)的第一端(20a)之间传送样品(41)；所述第一抓取装置(11)具有在所述中转腔(10)与任一直线腔(20)之间伸缩的水平自由度，和在所述直线腔(20)所在的平面内以所述中转腔(10)的中心为轴旋转、以对准任一直线腔(20)的旋转自由度，以将一个直线腔(20)内的样品(41)传送至另一个直线腔(20)中；和第二抓取装置(21)，每个直线腔(20)的第一端(20a)处具有一个第二抓取装置(21)，当直线腔(20)内的样品小车(40)移动至第一端(20a)时，该第二抓取装置(21)从样品小车(40)抓取样品(41)。
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