[发明专利]一种微机电型可调光衰减器有效
申请号: | 201710795665.X | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN107505702B | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 梁联长 | 申请(专利权)人: | 四川梓冠光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B26/02 | 分类号: | G02B26/02 |
代理公司: | 51124 成都虹桥专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 吴中伟 |
地址: | 621000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及光学器件领域,公开了一种微机电型可调光衰减器,解决现有MEMS VOA可靠性差的问题。本发明包括TO管座、MEMS芯片、管帽和光纤准直器,MEMS芯片设置在TO管座上,TO管座与管帽连接,且在TO管座与管帽之间形成一个密闭空间,MEMS芯片位于所述密闭空间之内,管帽前端开设有窗口,在窗口的四周设置有支撑台,支撑台上设置有用于入光的透明窗片,光纤准直器设置在透明窗片的正前方。本发明适用于光纤传输控制。 | ||
搜索关键词: | 一种 微机 电型可 调光 衰减器 | ||
【主权项】:
1.一种微机电型可调光衰减器,包括TO管座、MEMS芯片、管帽和光纤准直器,MEMS芯片设置在TO管座上,TO管座与管帽连接,且在TO管座与管帽之间形成一个密闭空间,MEMS芯片位于所述密闭空间之内,管帽前端开设有窗口,窗口上设置有用于入光的透明窗片,光纤准直器设置在透明窗片的正前方;其特征在于,在窗口的四周设置了具有台阶部的支撑台,透明窗片设置在该支撑台上,且透明窗片靠近密封空间的一侧与台阶抵接。/n
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