[发明专利]一种蚀刻工艺在审
| 申请号： | 201710795800.0 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107660079A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张文平 | 申请（专利权）人： | 江门市泽天达科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人： | 谭晓欣 |
| 地址： | 529000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻工艺，包括以下步骤A)利用盐酸溶液对基板进行第一次蚀刻；B)利用次氯酸溶液对步骤A)中的基板进行第二次蚀刻；C)把步骤B)中的基板放置在溢流水箱里进行清洗；D)利用清水把步骤C)中的基板进行清洗；E)把步骤D)中的基板放置在加热风箱里进行烘干。本发明经过多种溶液的两次蚀刻，在经过多重循环的溢流水清洗，并对其进行高温烘干，提高了蚀刻的质量，符合高密度、细线路、细孔径的技术要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 工艺 | ||
【主权项】：
一种蚀刻工艺，其特征在于：包括以下步骤：A)利用盐酸溶液对基板进行第一次蚀刻；B)利用次氯酸溶液对步骤A)中的基板进行第二次蚀刻；C)把步骤B)中的基板放置在溢流水箱里进行清洗；D)利用清水把步骤C)中的基板进行清洗；E)把步骤D)中的基板放置在加热风箱里进行烘干。
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