[发明专利]光检测器及放射线检测器

摘要

本实施方式的光检测器具备：基板，具有第1面及第2面；及多个像素，设置于基板，各像素具备：设置于基板的第1面的多个光检测单元，各光检测单元具有第1端子和与基板连接的第2端子，并且在从基板的第2面侧观看时，周围被设置于第2面的具有连续的闭曲线形状的第1开口部包围；第1布线，设置于基板的第1面，与多个光检测单元各自的第1端子连接；第1绝缘膜，覆盖基板的第2面、第2开口部的侧面、第1开口部的侧面及底面；多个第1电极，设置于多个第3开口部的每个第3开口部，与基板的第2面连接；第2电极，设置于基板的第2面侧，将多个第1电极连接；及遮光部件，被填充于第1开口部。

主权项

1.一种光检测器，具备：基板，具有第1面及与上述第1面对置的第2面；及多个像素，设置于上述基板，各像素具备：多个光检测单元，该多个光检测单元设置于上述基板的上述第1面，各光检测单元具有第1端子和与上述基板连接的第2端子，并且在从上述基板的上述第2面侧观看时，周围被设置于上述第2面的具有连续的闭曲线形状的第1开口部包围；第1布线，设置于上述基板的上述第1面，与上述多个光检测单元各自的上述第1端子连接；第1绝缘膜，覆盖上述基板的上述第2面、设置于上述基板的上述第2面并贯通上述基板且供上述第1布线的一部分露出的第2开口部的侧面、上述第1开口部的侧面及底面；多个第1电极，设置于多个第3开口部的每个第3开口部，与上述基板的上述第2面连接，该多个第3开口部的每个第3开口部设置于上述第1绝缘膜，并供与上述基板的上述第2面中的上述光检测单元分别对应的区域的一部分露出；第2电极，设置于上述基板的上述第2面侧，将上述多个第1电极连接；以及遮光部件，被填充于上述第1开口部。