[发明专利]图像传感器的形成方法

摘要

一种图像传感器的形成方法，包括提供工艺衬底，工艺衬底包括相背设置的第一面和第二面；在第一面上形成过渡层；在过渡层上形成第一掺杂层；在第一掺杂层上形成感光结构；形成感光结构之后，以过渡层为停止层，对工艺衬底的第二面进行减薄处理，以去除工艺衬底；去除工艺衬底之后，去除过渡层，露出第一掺杂层。过渡层在减薄处理过程中作为停止层，提高去除工艺衬底的工艺控制精度，提高所形成图像传感器中，第一掺杂层厚度的精确性，使省去滤色镜结构而实现不同颜色光信号采集成为可能，从而达到简化形成工艺和器件结构，降低制造成本的目的，更好地实现结构简化和性能改善的兼顾。

主权项

一种图像传感器的形成方法，其特征在于，包括：提供工艺衬底，所述工艺衬底包括相背设置的第一面和第二面；在所述第一面上形成过渡层；在所述过渡层上形成第一掺杂层；在所述第一掺杂层上形成感光结构；形成所述感光结构之后，以所述过渡层为停止层，对所述工艺衬底的第二面进行减薄处理，以去除所述工艺衬底；去除所述工艺衬底之后，去除所述过渡层，露出所述第一掺杂层。