[发明专利]一种氧化锌-银复合微腔结构表面增强拉曼基底制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化锌‑银复合微腔结构表面增强拉曼基底制备方法，采用气相传输法制备高品质ZnO微米棒，选取具有完美回音壁腔体结构的氧化锌微米棒作为光学微腔，利用离子溅射法沿氧化锌微米棒生长方向修饰粒径、密度呈梯度分布、形貌、密度分布可控、光学性能可调谐的金属银纳米颗粒，构建了氧化锌‑银复合微腔结构表面增强拉曼(SERS)基底。本发明为构建新型超灵敏SERS基底提供了一种行之有效的方法，同时解决了传统SERS基底制备过程复杂、拉曼信号灵敏度低等一系列问题，本发明在未来生物医学检测、环境监测和生命科学领域有着巨大的潜在应用。

主权项

一种氧化锌‑银复合微腔结构表面增强拉曼基底制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：步骤1、按质量比1:0.8～1.2称取氧化锌粉末和石墨粉末进行混合研磨，将研磨后的粉末填入容器内，作为反应源；步骤2、将硅片清洗吹干作为衬底，将硅片的抛光面朝下覆盖于装有反应源的容器上且不与反应源接触，之后将所述容器和硅片置于两端开口的石英管的一端，并将整根石英管置于水平管式炉内，向水平管式炉中同时通入氩气和氧气进行反应，反应结束后在硅片上得到氧化锌微米棒阵列，冷却至室温并取出；步骤3、从氧化锌微米棒阵列中挑选具有完美回音壁腔体结构的氧化锌微米棒；步骤4、将步骤3选取的具有完美回音壁腔体结构的氧化锌微米棒垂直固定于新的硅片衬底上，之后将该硅片衬底垂直置于离子溅射仪样品台上，在氧化锌微米棒表面溅射金属银纳米颗粒，得到氧化锌‑银复合微腔结构表面增强拉曼基底。