[发明专利]一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201710800552.4 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN107686972A | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;沈洪雪;金克武;王天齐;甘治平;李刚;姚婷婷;杨勇 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 尹杰 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法，包括以下步骤选用0.3‑0.5mm的超白玻璃为衬底材料；对衬底材料进行超声波清洗；设置W靶材和C靶材，W靶材和C靶材相交是设置，且两靶材的交点位于样品架处；把清洗后的超白玻璃衬底放置于样品架上；使用Ar离子轰击W、C两靶材，达到清洗和活化靶材的作用；把清洗后的衬底材料放入真空度抽至3.0×10‑4—5.0×10‑4Pa的溅射腔室内，通入氩气进行预溅射起辉，同时再通入氮气。本发明的优点W靶材和C靶材独立控制，改变两靶的工艺参数以及氮气量，能够制备出各种高性能的薄膜，其制备工序简单，实验易控制，可根据实际需要制备不同硬度和透过率的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种共掺杂类金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、选用0.3‑0.5mm的超白玻璃为衬底材料；步骤二、对衬底材料进行超声波清洗；步骤三、设置W靶材和C靶材，W靶材和C靶材相交是设置，且两靶材的交点位于样品架处；步骤四、把清洗后的超白玻璃衬底放置于样品架上；步骤五、使用Ar离子轰击W、C两靶材，达到清洗和活化靶材的作用；步骤六、把清洗后的衬底材料放入真空度抽至3.0×10‑4—5.0×10‑4Pa的溅射腔室内，通入氩气进行预溅射起辉，同时再通入氮气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于蚌埠玻璃工业设计研究院，未经蚌埠玻璃工业设计研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710800552.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于莱鲍迪苷提纯的超滤膜过滤机构
- 下一篇：过滤膜组件及其构成的过滤器
- 同类专利
- 专利分类
