[发明专利]连续生产粒状多晶硅的方法在审
| 申请号： | 201710800673.9 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109467090A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 大卫·米克森;本·菲尔斯曼 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/027 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种粒状多晶硅的生产方法，在流化床反应器中通过HCl‑TCS混合进料，利用HCl在一定温度下的延迟化学反应，有效抑制硅粉的生成，高效地生产出粒状多晶硅。采用本发明的粒状多晶硅的生产方法，能避免进气口区域的滞留区以及进气管道、喷嘴沉积硅粉导致团聚、结垢或堵塞等现象发生，含硅气体仅在流态化较好的区域发生沉积生成粒状多晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 粒状多晶硅 硅粉 沉积 流化床反应器 化学反应 进气口区域 含硅气体 混合进料 进气管道 有效抑制 喷嘴 流态化 滞留区 结垢 生产 延迟 团聚 堵塞 | ||
【主权项】：
1.一种连续生产粒状多晶硅的方法，包括以下步骤：a）硅籽晶加入流化床反应器形成流化床床层，经预热的含硅原料气体和HCl混合气体通过原料进气管线进入流化床反应器，并通过喷嘴或气体分布器进入流化床反应区，进气带动硅籽晶颗粒形成流化床；b）流化床反应器内部流化态趋于稳定后，含硅原料气体在500℃~1200℃床层温度条件下发生化学气相沉积反应，并在颗粒硅籽晶表面沉积硅，直至颗粒硅籽晶长大得到粒状多晶硅产品；其中，所述HCl与含硅原料气体的摩尔比为0.01~0.6，且所述含硅原料气体和HCl的混合气体被预热至不超过750℃。
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