[发明专利]一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法在审
| 申请号： | 201710804559.3 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107543682A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 贾建军;张子玄;吴金才;张亮;强佳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所31311 | 代理人： | 李秀兰 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种主动抑制测试光路抖动的装置及方法。主动抑制测试光路抖动装置由信标光，分光器，压电快反镜，控制计算机组成。整体方法为在测试光路检测端发射信标光，使用分光器耦合并入测试光，在测试光路中逆向传输到测试光路入光端。测试光路入光端安装有压电快反镜和分光器与检测相机。通过分光器将信标光分离出测试光，用检测相机采集光斑抖动，即为测试光路抖动。控制计算机使用质心算法计算信标光脱靶量控制压电快反镜对抖动补偿。本发明能有效抑制测试光路中由于平台等原因引起的抖动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 主动 抑制 测试 抖动 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种主动抑制测试光路抖动的装置，包括控制计算机(1)、信标光源(2)、第一分光镜(3)、压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6)，其特征在于：所述压电陶瓷快反镜(4)、抖动检测相机(5)和第二分光镜(6)安装于测试光路入射处，测时光路测试光依次经过第二分光镜(6)和压电陶瓷快反镜(4)进入测试光路，再经过第一分光镜(3)到的测试光路出光端。信标光和测试光路光源采用分光镜耦合和分离。信标光源(2)、第一分光镜(3)安装于测试光路出光处；所用信标光源(2)的出射光经过第一分光镜(3)耦合进测试光路，从测试光路的出光端沿测试光路的逆向传播到测试光路入光端，依次经过压电陶瓷快反镜(4)、第二分光镜(6)被抖动检测相机(5)捕获。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海技术物理研究所，未经中国科学院上海技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710804559.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
