[发明专利]一种基于氧化物薄膜晶体管的反相器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710806148.8 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN107623041B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 张新安;张朋林;李爽;郑海务;张伟风 | 申请（专利权）人： | 河南大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/06 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 崔旭东 |
| 地址： | 475004*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明涉及反相器电路设计领域，具体涉及一种基于氧化物薄膜晶体管的反相器及其制造方法。本发明通过单个氧化物薄膜晶体管与氧化物电阻的连接构成反相器，绝缘层与氧化物电阻为同种物质，其制作简单，便于集成化，并且制作成本低。而且单个薄膜晶体管相比于多个晶体管，可以降低反相器出现故障的概率，能够很好的提高反相器的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 氧化物 薄膜晶体管 反相器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基于氧化物薄膜晶体管的反相器，其特征在于：包括在同一衬底上生成的氧化物薄膜晶体管、氧化物电阻和电阻电极；所述氧化物薄膜晶体管的漏极、氧化物电阻、电阻电极在所述衬底上依次接触排布。
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