[发明专利]一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置及方法有效
申请号: | 201710807946.2 | 申请日: | 2017-09-08 |
公开(公告)号: | CN107413187B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 韩彦华;盛勇;李文慧;杨鼎革;吴经锋;齐卫东;于国夫;左坤;杨传凯;毛辰;刘强;周艺环;张璐;丁卫东 | 申请(专利权)人: | 国家电网公司;国网陕西省电力公司电力科学研究院 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/48;B01D53/68;B01D53/04 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 田洲 |
地址: | 100031 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明公开一种环保型六氟化硫/氮气混合气体分离回收装置,其特征在于,包括压力监测模块、三通转换阀、直通阀组、增压阀组、高真空阀组、化学处理装置、混合气体分离装置和压缩回收装置;六氟化硫/氮气混合气体气室通过压力监测模块连接三通转换阀的入口,三通转换阀的第一出口通过增压阀组连接混合气体分离装置的入口,三通转换阀的第二出口通过直通阀组连接混合气体分离装置的入口,三通转换阀的第三出口通过高真空阀组连接混合气体分离装置的入口;混合气体分离装置的出口依次连接化学处理装置和压缩回收装置。整个分离回收过程全程无泄漏,又可以回收重复利用SF |
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搜索关键词: | 一种 环保 六氟化硫 氮气 混合气体 分离 回收 装置 方法 | ||
【主权项】:
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