[发明专利]一种丝网漏涂玻璃钝化模具及其工艺方法有效

专利信息
申请号: 201710815321.0 申请日: 2017-09-12
公开(公告)号: CN107611044B 公开(公告)日: 2020-02-14
发明(设计)人: 潘建英;王成森;沈怡东;钱如意;沈广宇 申请(专利权)人: 捷捷半导体有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56
代理公司: 32243 南京正联知识产权代理有限公司 代理人: 卢海洋
地址: 226200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种丝网漏涂玻璃钝化模具,包括硅单晶片、不锈钢丝网网版、不锈钢刮刀,硅单晶片设有台面腐蚀槽,不锈钢丝网网版带有凸台及漏透区域,不锈钢丝网网版一侧设有凸台,漏透区域的排布、位置与形状尺寸完全与硅单晶片单面的台面腐蚀槽区域一致,凸台两侧相邻位置设有漏透区域,不锈钢刮刀一侧设有2‑5CM高刀刃,凸台凸出高度较硅单晶片台面腐蚀槽深度短3‑5微米,一种丝网漏涂玻璃钝化工艺方法,包括以下步骤:对版;上玻璃糊、刮涂;玻璃糊成型、脱网版;玻璃烧熔,本发明设置凸台防止过多的玻璃糊刮到玻璃槽中间无效位置。
搜索关键词: 一种 丝网 玻璃 钝化 模具 及其 工艺 方法
【主权项】:
1.一种丝网漏涂玻璃钝化模具,其特征在于:包括:硅单晶片、不锈钢丝网网版、不锈钢刮刀,所述硅单晶片设有台面腐蚀槽,所述不锈钢丝网网版带有凸台及漏透区域,所述不锈钢丝网网版一侧设有凸台,所述漏透区域的排布、位置与形状尺寸完全与硅单晶片单面的台面腐蚀槽区域一致,所述凸台两侧相邻位置设有漏透区域,所述不锈钢刮刀一侧设有2-5cm高刀刃。/n
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