[发明专利]柔性闪烁屏、放射线图像传感器及其制备方法在审
申请号: | 201710815754.6 | 申请日: | 2017-09-12 |
公开(公告)号: | CN107742628A | 公开(公告)日: | 2018-02-27 |
发明(设计)人: | 顾铁;杨华;金利波 | 申请(专利权)人: | 奕瑞影像科技(太仓)有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 | 代理人: | 佟婷婷 |
地址: | 215434 江苏省苏州市太*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种柔性闪烁屏、放射线图像传感器及制备方法,闪烁屏的制备包括提供一基板,并于基板一表面上形成离型层;于离型层表面形成柔性基底层;于柔性基底层表面制备闪烁体层;于闪烁体层表面以及闪烁体层周围的柔性基底层上形成覆盖闪烁体层的保护层;剥离以去除离型层及与离型层相连的基板,获得柔性闪烁屏。通过上述方案,本发明的柔性闪烁屏及制备方法可以解决现有技术中封装流程复杂、设备成本高昂的问题,简化器件制备流程,降低生产成本,且得到的闪烁屏轻薄;本发明的柔性闪烁屏采用了柔性基底层,可挠曲,解决了硬基板所导致的问题,本发明的柔性闪烁屏可以适用于多种需要柔性闪烁屏的场合,如X射线平板探测器、CT探测器等领域。 | ||
搜索关键词: | 柔性 闪烁 放射线 图像传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性闪烁屏的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)提供一基板,且所述基板具有相对的第一表面和第二表面,并于所述第一表面上形成离型层;2)于所述离型层表面形成柔性基底层;3)于所述柔性基底层表面制备闪烁体层,所述闪烁体层用于将其接收的入射射线转换为可见光;4)于所述闪烁体层表面以及所述闪烁体层周围的所述柔性基底层上形成覆盖所述闪烁体层的保护层;以及5)剥离以去除所述离型层及与所述离型层相连的所述基板,获得柔性闪烁屏。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的