[发明专利]柔性闪烁屏、放射线图像传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710815754.6 申请日: 2017-09-12
公开(公告)号: CN107742628A 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 顾铁;杨华;金利波 申请(专利权)人: 奕瑞影像科技(太仓)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 代理人: 佟婷婷
地址: 215434 江苏省苏州市太*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种柔性闪烁屏、放射线图像传感器及制备方法,闪烁屏的制备包括提供一基板,并于基板一表面上形成离型层;于离型层表面形成柔性基底层;于柔性基底层表面制备闪烁体层;于闪烁体层表面以及闪烁体层周围的柔性基底层上形成覆盖闪烁体层的保护层;剥离以去除离型层及与离型层相连的基板,获得柔性闪烁屏。通过上述方案,本发明的柔性闪烁屏及制备方法可以解决现有技术中封装流程复杂、设备成本高昂的问题,简化器件制备流程,降低生产成本,且得到的闪烁屏轻薄;本发明的柔性闪烁屏采用了柔性基底层,可挠曲,解决了硬基板所导致的问题,本发明的柔性闪烁屏可以适用于多种需要柔性闪烁屏的场合,如X射线平板探测器、CT探测器等领域。
搜索关键词: 柔性 闪烁 放射线 图像传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
一种柔性闪烁屏的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:1)提供一基板,且所述基板具有相对的第一表面和第二表面,并于所述第一表面上形成离型层;2)于所述离型层表面形成柔性基底层;3)于所述柔性基底层表面制备闪烁体层,所述闪烁体层用于将其接收的入射射线转换为可见光;4)于所述闪烁体层表面以及所述闪烁体层周围的所述柔性基底层上形成覆盖所述闪烁体层的保护层;以及5)剥离以去除所述离型层及与所述离型层相连的所述基板,获得柔性闪烁屏。
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