[发明专利]溅射镀膜机与溅射镀膜方法有效
| 申请号： | 201710818909.1 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN107604326B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 谭伟;姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;闻盼盼 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射镀膜机及溅射镀膜方法。本发明的溅射镀膜机采用绑定的方式将掩膜片绑定在承载装置上，并在掩膜片的四周设置紧固拉紧装置，既能达到从四周对掩膜片进行固定的目的，也能达到拉紧展平的目的，对掩膜片的拉紧展平效果能达到现有的掩膜板张网机的拉紧展平效果，紧固拉紧装置及掩膜片上均设有凹凸结构，对掩膜片进行固定时不会出现侧滑的现象，由于掩膜片与承载装置之间为可拆卸连接，因此需要对掩膜片进行保养或更换时可以随时拆装掩膜片，操作简单，不需要对作为外框的承载装置进行再加工，能够提高掩膜片的更换效率，降低溅射镀膜的生产成本。本发明的溅射镀膜方法利用上述溅射镀膜机进行镀膜，镀膜质量好，且镀膜成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜片 溅射镀膜机 溅射镀膜 承载装置 拉紧 展平 拉紧装置 绑定 镀膜 紧固 可拆卸连接 凹凸结构 镀膜成本 固定的 掩膜板 再加工 侧滑 拆装 外框 张网 生产成本 保养 | ||
【主权项】：
1.一种溅射镀膜机，其特征在于，包括：轨道(10)；设于所述轨道(10)上并可沿所述轨道(10)移动的承载装置(20)，所述承载装置(20)包括框形基板(21)、从所述框形基板(21)的内侧与所述框形基板(21)相连的框形凸台(22)、及位于所述框形凸台(22)内侧的框形开口(23)；所述框形基板(21)上设有分布于所述框形凸台(22)四周的数个沟槽(215)；靶材(30)，与所述框形开口(23)相对应；与所述数个沟槽(215)的数量相对应的数个紧固拉紧装置(40)，所述紧固拉紧装置(40)包括可沿所述沟槽(215)移动的滑块(41)、穿过所述滑块(41)内的螺纹孔与其螺纹连接的螺杆(42)、与所述滑块(41)的上表面相配合的压片(43)、及数个螺丝(44)；所述螺杆(42)的一端抵靠于所述框形凸台(22)的外表面上；所述滑块(41)的上表面的形状与所述压片(43)的下表面的形状相配合；所述数个螺丝(44)用于将所述压片(43)与所述滑块(41)固定在一起；数个压条(50)，所述压条(50)具有与所述框形凸台(22)的上表面相配合的形状，其用于在掩膜片(60)被拉紧展平后与所述框形凸台(22)配合，将掩膜片(60)固定于所述压条(50)与框形凸台(22)之间。
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