[发明专利]一种生产磷化铟的高压炉压力控制方法在审

专利信息
申请号: 201710819823.0 申请日: 2017-09-13
公开(公告)号: CN107619027A 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁 申请(专利权)人: 南京金美镓业有限公司
主分类号: C01B25/08 分类号: C01B25/08;F27D19/00
代理公司: 南京科知维创知识产权代理有限责任公司32270 代理人: 杜依民
地址: 211165 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种生产磷化铟的高压炉压力控制方法,在红磷温度被加热至565℃过程中,高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力减少2atm‑4atm;磷化铟合成结束,定向结晶阶段,高压炉压力保持在27.5atm±1atm范围内;在磷化铟全部结晶凝固后,再将红磷温度逐步稳定的降温至400℃过程中,高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力增加13atm‑15atm。本发明从分析压力变化规律入手,调节高压炉压力解决“炸管”问题。
搜索关键词: 一种 生产 磷化 高压 压力 控制 方法
【主权项】:
一种生产磷化铟的高压炉压力控制方法,管式电炉安装于高压炉中,真空密封的石英反应管安装于管式电炉的炉腔中,石英反应管内两端分别放置红磷和金属铟,其特征在于:在红磷温度被加热至565℃过程中,高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力减少2atm‑4atm;磷化铟合成结束,定向结晶阶段,高压炉压力保持在27.5atm±1atm范围内;红磷温度由565℃逐步稳定的降温至548℃过程中,高压炉压力调整为与相应温度下红磷饱和蒸汽压力一致;在磷化铟全部结晶凝固后,再将红磷温度逐步稳定的降温至400℃过程中,高压炉压力调整为比相应温度下红磷饱和蒸汽压力增加13atm‑15atm。
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