[发明专利]一种悬臂梁与光声池双共振增强型光声光谱检测系统及方法有效
申请号: | 201710820332.8 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN107677610B | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 陈珂;于清旭;宫振峰;郭珉;周新磊 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 温福雪;侯明远 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种悬臂梁与光声池双共振增强型光声光谱检测系统及方法,属于微量气体检测技术领域。光源激发待测气体分子产生的声波在共振式光声池中的声共振管内相干叠加后有效增强光声信号幅度;同时通过对悬臂梁结构的精密设计以及温度控制对光声池共振频率的微调,使悬臂梁共振频率与光声池的共振频率实现精确匹配,利用悬臂梁的一阶共振进一步增强光声信号;双共振增强光声光谱方法结合锁相放大器实现超高灵敏度气体检测。本发明中悬臂梁与光声池的双共振增强机制使光声信号得到显著放大,且该系统工作频率在kHz量级,极大地降低了1/f噪声,为超低浓度气体检测提供一种极具竞争力的技术方案。 | ||
搜索关键词: | 一种 悬臂梁 光声池双 共振 增强 声光 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
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