[发明专利]一种多晶硅生产设备的清洗装置

摘要

本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，且公开了一种多晶硅生产设备的清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽底端的外侧固定连接有圆环，所述圆环的中部贯穿有放置板，所述放置板的上表面固定连接有超声波装置，所述放置板的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的底端固定连接有底座，所述底座的两端均固定连接有纵向支撑架，所述纵向支撑架的顶端固定连接有固定架，所述固定架的中部固定连接有搅拌电机。该多晶硅生产设备的清洗装置，通过设置超声波装置，超声波振子对清洗槽内的清洗溶剂产生强烈震动，加大溶剂与生产设备的接触力度，对于生产设备结构较多的死角起到较好的清洗效果，避免使用酸溶剂清洗对生产设备造成腐蚀。

主权项

一种多晶硅生产设备的清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)底端的外侧固定连接有圆环(3)，所述圆环(3)的中部贯穿有放置板(4)，所述放置板(4)的上表面固定连接有超声波装置(12)，所述放置板(4)的底部固定连接有固定杆(11)，所述固定杆(11)的底端固定连接有底座(19)，所述底座(19)的两端均固定连接有纵向支撑架(2)，所述纵向支撑架(2)的顶端固定连接有固定架(5)，所述固定架(5)的中部固定连接有搅拌电机(6)，所述搅拌电机(6)的输出轴固定连接有搅拌转轴(8)，所述搅拌转轴(8)的表面固定连接有连接杆(9)，所述连接杆(9)的一端固定连接有清洁刷(10)，所述放置板(4)底端的中部固定连接有固定块(13)，所述固定块(13)的表面固定连接有电机(14)，所述底座(19)的中部设置有旋转盘(16)，所述旋转盘(16)的上表面固定连接有固定台(15)，所述旋转盘(16)的中心固定连接有转轴(17)，所述电机(14)的输出轴固定连接有贯穿于固定台(15)的转轴(17)，所述旋转盘(16)的外侧通过连杆(18)固定连接有圆环(3)。