[发明专利]一种微型非晶丝GMI磁传感器及其加工方法在审
| 申请号： | 201710825386.3 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107741576A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 李建华;陈佳文;徐立新;李夷渊;陈玉龙 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01R33/06 | 分类号： | G01R33/06 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙)11639 | 代理人： | 毛燕 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微型非晶丝GMI磁传感器及其加工方法，属于磁传感器领域。采用MEMS技术将非晶丝与微结构线圈集成，加工步骤为(1)在Si衬底上溅射一层Cr/Cu种子层；(2)涂胶、曝光、显影，电镀铜形成底层导线；(3)去胶；(4)将非晶丝固定到Cr/Cu种子层上；(5)在非晶丝两端电镀Cu；(6)涂胶、曝光、显影，电镀铜形成微电感柱子；(7)涂胶、曝光、显影，电镀铜形成顶层导线；(11)去上层光刻胶，刻蚀种子层。(12)去下层光刻胶，刻蚀种子层。本发明克服了传统工艺制造的非晶丝GMI磁传感器体积大、阻抗一致性差的缺点，实现了以非晶丝为敏感元件的GMI磁传感器的微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 非晶丝 gmi 传感器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种微型非晶丝GMI磁传感器，其特征在于：包括：硅衬底(1)、线圈、包裹非晶丝两端的铜(5)、非晶丝(6)、非晶丝两端引线(7)、微结构线圈两端引线(8)；连接关系：在硅衬底(1)上固定安装线圈和包裹非晶丝两端的铜(5)；非晶丝(6)固定在包裹非晶丝两端的铜(5)内，并悬空放置在线圈中间；所述线圈等间距分布，且线圈与非晶丝(6)形成夹角；包裹非晶丝两端的铜(5)的顶端侧壁上带有非晶丝两端引线(7)；靠近包裹非晶丝两端的铜(5)的线圈顶端侧壁上带有微结构线圈两端引线(8)。
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