[发明专利]一种显示屏用酸性蚀刻液在审
申请号: | 201710825401.4 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN107620066A | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 白航空 | 申请(专利权)人: | 合肥惠科金扬科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/16 | 分类号: | C23F1/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种显示屏用酸性蚀刻液,其是由如下重量百分比的原料组成硝酸23‑25%、氢氟酸30‑50%、磷酸盐5‑14%、醋酸5‑25%、含氟化合物0.01‑3%、三氯化铁1.2‑1.8%、氟化铵8.5‑9.4%、表面活性剂8‑12%、添加剂5‑8%和去离子水。本发明在蚀刻液中加入含氟化合物和合适的添加剂,不引入任何金属离子和阴离子,蚀刻后的氧化层表面无残留,且能赋予蚀刻液较低的表面张力,增大蚀刻液渗透性;表面活性剂具有高表面活性疏水疏油的性质,与等量的其他表面活性剂相比,能极大的降低溶液的表面张力,因此其用量少,生产成本较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 显示屏 酸性 蚀刻 | ||
【主权项】:
一种显示屏用酸性蚀刻液,其特征在于,其是由如下重量百分比的原料组成:硝酸23‑25%、氢氟酸30‑50%、磷酸盐5‑14%、醋酸5‑25%、含氟化合物0.01‑3%、三氯化铁1.2‑1.8%、氟化铵8.5‑9.4%、表面活性剂8‑12%、添加剂5‑8%和去离子水。
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