[发明专利]一种用于TFT‑LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液在审
申请号: | 201710825424.5 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN107608181A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 白航空 | 申请(专利权)人: | 合肥惠科金扬科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于TFT‑LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的原料有机胺化合物15‑18%、丙烯酸酯类共聚物26‑32%、表面活性剂9‑16%、络合剂5‑8%、N,N‑二甲基丙酰胺6‑9%、腐蚀抑制剂4‑6%、有机溶剂60‑75%和添加剂0.2‑10%。本发明将至少两种有机胺化合物一起,配合采用二乙醇类溶剂和酰胺类溶剂组成的混合有机溶剂使用,有效的提高了剥离速度,防止因长时间作用导致残留物渗透到要形成的图形层中影响终端产品的质量,获得了更好的剥离效果。同时,本发明的有机溶剂不仅具有较好的溶解性,同时亲水性强,在配线工艺时可以避免光刻胶的再附着,避免了光刻胶残留。此外,本发明的剥离液中的添加剂,不仅具有很好的缓蚀作用,能有效的防止金属配线腐蚀。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 tft lcd 显示屏 光刻 剥离 | ||
【主权项】:
一种用于TFT‑LCD显示屏的光刻胶剥离剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的原料:有机胺化合物15‑18%、丙烯酸酯类共聚物26‑32%、表面活性剂9‑16%、络合剂5‑8%、N,N‑二甲基丙酰胺6‑9%、腐蚀抑制剂4‑6%、有机溶剂60‑75%和添加剂0.2‑10%。
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