[发明专利]一种双组份选择性钛腐蚀液及钛腐蚀方法有效
| 申请号： | 201710825471.X | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107604362B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 李森虎;殷福华;徐辉;赵文虎;顾玲燕 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/38 | 分类号： | C23F1/38 |
| 代理公司： | 无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348 | 代理人： | 杜兴 |
| 地址： | 214400 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双组份选择性钛腐蚀液，由A组分和B组分在使用前混合而成；A组分的主要组成为碱的水溶液，碱为可溶性碱和季铵氢氧化物中的至少一种；B组分包含过氧化氢、过氧化氢稳定剂和水；A组分中还包含强碱弱酸盐，强碱弱酸盐对应的弱酸为非还原性酸。本发明双组份选择性钛腐蚀液通过加入强碱弱酸盐，稳定腐蚀液中氢氧根的浓度，腐蚀液性能稳定，有助于延长其寿命，通过对强碱弱酸盐的进一步选择，有效降低铜层的侧蚀量和铝层的侵蚀，提高蚀刻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀液 强碱弱酸盐 双组份 氢氧根 过氧化氢稳定剂 季铵氢氧化物 蚀刻 非还原性酸 过氧化氢 可溶性碱 均匀性 侧蚀 铝层 弱酸 铜层 腐蚀 侵蚀 | ||
【主权项】：
1.一种双组份选择性钛腐蚀液，其特征在于，由A组分和B组分在使用前混合而成；A组分的主要组成为碱的水溶液，所述碱为可溶性碱和季铵氢氧化物中的至少一种；B组分包含过氧化氢、过氧化氢稳定剂和水；A组分中还包含强碱弱酸盐，强碱弱酸盐对应的弱酸为非还原性酸；碱的水溶液中碱的重量百分比为1～10%，B组分中过氧化氢的重量百分比为28～35%； A组分与B组分的混合比例为（0.5～0.9）：1；A组分中碱与强碱弱酸盐的摩尔比为1：（0.1～0.5）；强碱弱酸盐由铝酸盐和C7～C10的二羟基苯甲酸盐组合而成，铝酸盐和C7～C10的二羟基苯甲酸盐的摩尔比为1：（1.5～3）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴江化微电子材料股份有限公司，未经江阴江化微电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710825471.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种减少乙烯裂解炉结焦物的方法
- 下一篇：镁稀土合金电解原料的制备方法
