[发明专利]同轴探针卡装置有效
申请号: | 201710827394.1 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN107894521B | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 蔡锦溢;余陈志;黄翊嘉;苏正年;林忠麒 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 王玉双;李岩 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种同轴探针卡装置,包含一基板、多个探针座与多个探针。基板具有一穿孔,多个探针座设置于基板上且以基板的穿孔为中心而环绕穿孔呈辐射状配置。各探针座具有一探针槽,探针槽相对于基板的表面倾斜且朝基板的穿孔的方向延伸,各探针个别设置于各探针座的探针槽中。 | ||
搜索关键词: | 同轴 探针 装置 | ||
【主权项】:
一种同轴探针卡装置,其特征在于,包含:一基板,具有一穿孔;一第一弧形探针座,具有一第一内弧面与相对于所述第一内弧面的一第一外弧面,所述第一内弧面与所述第一外弧面自所述第一弧型探针座的一端延伸至另一端,所述第一弧型探针座以其一端固设于所述基板上且位于所述穿孔的一侧,并以所述第一内弧面朝向所述穿孔;一第二弧型探针座,具有一第二内弧面与相对于所述第二内弧面的一第二外弧面,所述第二内弧面与所述第二外弧面自所述第二弧型探针座的一端延伸至另一端,所述第二弧型探针座以其一端固设于所述基板上且位于所述穿孔的另一侧而与所述第一弧型探针座相对,并以所述第二内弧面朝向所述穿孔;一第一探针群组,包含多个第一探针,设置于所述第一弧型探针座,各所述第一探针自所述第一外弧面穿过所述第一内弧面而延伸至所述基板的穿孔;及一第二探针群组,包含多个第二探针,设置于所述第二弧型探针座,各所述第二探针自所述第二外弧面穿过所述第二内弧面而延伸至所述基板的穿孔。
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