[发明专利]一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置在审
申请号: | 201710827640.3 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN107621678A | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 丁蛟腾;许亮;马臻;罗瑶;凤良杰;庞志海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 汪海艳 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于支撑高精度标准镜的无应力装夹柔性装置,包括柔性框、压圈和标准镜镜框,柔性框设置有多条半径相同的圆弧形狭缝,将柔性框分为内圈和外圈,内圈和外圈通过挠性构件相连;柔性框内圈侧面设置有多个注胶孔;标准镜通过注胶孔中的胶粘剂与柔性框内圈固定;标准镜镜框为底部开有圆孔的桶状部件,圆孔半径小于标准镜的半径,柔性框套装在标准镜镜框内,标准镜镜框的底部与柔性框外圈的一个端面的靠面部分具有凸台,压圈设置在柔性框外圈的另一个端面,压圈与柔性框外圈的靠面部分具有凸台;标准镜镜框上设置有与干涉仪连接的标准接口。标准镜与其支撑结构之间的热特性不匹配通过挠性结构的变形补偿,减小温度变化对面形影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 高精度 标准 应力 柔性 装置 | ||
【主权项】:
一种用于高精度标准镜的无应力装夹柔性装置,其特征在于:包括柔性框(3)、压圈(4)和标准镜镜框(2),所述柔性框(3)设置有多条半径相同的圆弧形狭缝(31),所述狭缝(31)将柔性框分为内圈(32)和外圈(33),所述内圈(32)和外圈(33)通过挠性构件(34)相连;所述柔性框内圈侧面设置有多个注胶孔(35);标准镜(1)通过注胶孔(35)中的胶粘剂与柔性框内圈固定;所述标准镜镜框(2)为底部开有圆孔(21)的桶状部件,所述圆孔半径小于标准镜(1)的半径,所述柔性框(3)套装在标准镜镜框(2)内,所述标准镜镜框的底部与柔性框外圈的一个端面的靠面部分具有凸台,所述压圈设置在柔性框外圈的另一个端面,压圈与柔性框外圈的靠面部分具有凸台;所述标准镜镜框上设置有与干涉仪连接的标准接口。
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