[发明专利]一种基板破片侦测装置在审
| 申请号： | 201710828627.X | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN107607544A | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 刘干 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板破片装置，所述装置包括固定装置、传送装置、第一光反射式传感器以及第二光反射式传感器；所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器设置在待测基板的正反两侧，其中，所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器均用于发射光束和接收所述光束；通过对所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器接收所述光束的时间差与设定值进行对比，来判断所述待测基板是否发生破片，大大的提高了破片侦测装置的精度，及时发现破片异常，降低了产能以及良率的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 破片 侦测 装置 | ||
【主权项】：
一种基板破片侦测装置，其特征在于，包括：固定装置、传送装置、第一光反射式传感器以及第二光反射式传感器；所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器设置在待测基板的两侧；其中，所述第一光反射式传感器和所述第二光反射式传感器均用于发射光束和接收所述光束，所述基板破片侦测装置根据所述第一光反射式传感器与所述第二光反射式传感器接收所述光束的时间差对所述待测基板进行侦测破片。
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