[发明专利]一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置有效
| 申请号： | 201710830231.9 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN107794499B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 刘阳;陈计学;房立峰;张帅;张伟 | 申请（专利权）人： | 北方电子研究院安徽有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233030 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板及负调节固定板分别水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽,两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间；通过电极延长柱使蒸发舟的安装位置升高，从而缩短了蒸发源和基片的距离，能够提高沉积速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 速率 蒸发 调节 固定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种高沉积速率蒸镀的蒸发舟调节固定装置，其特征在于，包括正调节固定板、负调节固定板、正电极延长柱与负电极延长柱，正调节固定板与负调节固定板的板面均设有固定孔与第一腰型孔，正调节固定板及负调节固定板分别通过第一腰型孔水平连接于正蒸镀电极及负蒸镀电极顶部；正电极延长柱及负电极延长柱分别通过固定孔竖直固定于正调节固定板及负调节固定板；正电极延长柱及负电极延长柱顶部分别螺纹连接有固定套筒，固定套筒侧壁设有水平的开口槽, 两个固定套筒的开口槽相对设置，蒸发舟两端分别插入两个开口槽形成配合；两个固定套筒上部分别设有锁紧螺栓，使蒸发舟两端分别夹紧固定于相对应的锁紧螺栓与电极延长柱之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北方电子研究院安徽有限公司，未经北方电子研究院安徽有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710830231.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种无线传输中的方法和装置
- 下一篇：氧化铝矿物质隔离型防火电缆及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
