[发明专利]采用减反膜降低垂直结构深紫外LED激光剥离能量阈值的方法在审
| 申请号： | 201710833334.0 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN107452842A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 李虞锋;王帅;云峰 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 闵岳峰 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种采用减反膜降低垂直结构深紫外LED激光剥离能量阈值的方法通过MOCVD生长深紫外AlGaN外延片，并将外延片键合到导电、导热衬底上；在蓝宝石衬底表面沉积一层或多层减反膜材料。准分子激光从具有上述减反膜的蓝宝石衬底表面进行辐照，完成蓝宝石衬底的有效剥离。本方法采用沉积减反膜的方法，利用反射激光在介质膜界面处的干涉相消，减弱激光在衬底表面的反射损耗，从而在较小的激光能量下就可以实现蓝宝石衬底的有效剥离。在激光剥离设备随着使用时长的增加出现能量衰减时，本发明提供方法能够降低剥离设备负荷、延迟设备寿命、节省能源，可以有效客服深紫外垂直结构LED衬底较难剥离的这一难题，对降低剥离工艺能量阈值具有实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 减反膜 降低 垂直 结构 深紫 led 激光 剥离 能量 阈值 方法 | ||
【主权项】：
采用减反膜降低垂直结构深紫外LED激光剥离能量阈值的方法，其特征在于，在垂直结构深紫外LED器件未剥离的蓝宝石衬底表面沉积减反膜，用于降低垂直结构深紫外LED器件的激光剥离能量阈值；其中，减反膜是单层膜，或者是多层膜，多层膜是折射率渐变式多层薄膜，高低折射率交替的非周期性多层膜或者高低折射率交替的周期性多层膜。
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